原子層材料怎么獲得(原子層沉積流程圖)
1. 原子層沉積流程圖
步驟如下:
(1)對(duì)于滲透型印章使用原子印油的方法:把印章倒置揭開章蓋,對(duì)印章表面均勻的加入4-5滴印油,待滲入后即可使用。
(2)普通印臺(tái)使用原子印油的方法:把適量印油均勻的涂在印臺(tái)臺(tái)芯上,待完全滲入后即可使用。
(3)使用前必須搖晃均勻,如有結(jié)塊、沉淀現(xiàn)象,應(yīng)停止使用。不可和水性印臺(tái)混用。原子章即可完成更換了:
2. 原子層沉積流程圖怎么畫
鉀(K)原子的核外電子排布式為1s22s22p63s23p64s1或簡(jiǎn)化為[Ar]4p1,其中4s1是鉀原子的價(jià)電子排布式。
鉀屬于堿金屬,位于元素周期表第四周期第ⅠA族19號(hào)元素。核內(nèi)有19個(gè)質(zhì)子,核外有4個(gè)電子層,電子排布為2、8、8、1。
鉀能與水,酸,可溶性鹽溶液,非金屬和非金屬氧化物等反應(yīng)。例如鉀能與氯化鐵溶液反應(yīng)生成紅褐色氫氧化鐵沉淀和氫氣,反應(yīng)的化學(xué)方程式為:
6K+6H2O+2FeCl3=2Fe(OH)3↓(紅褐色)+6KCl+3H2↑;
3. 原子層沉積可以沉積什么
濺射沉積是用高能粒子轟擊靶材,使靶材中的原子濺射出來,沉積在基底表面形成薄膜的方法。
4. 原子層沉積sio
原硅酸在干燥的空氣里失水變?yōu)楣杷?化學(xué)方程式:H4SiO4=H2SiO3+H2O硅酸難溶于水,是一種比碳酸還弱的酸,用化學(xué)方程式可表示為:Na2SiO3+CO2+H2O=H2SiO3↓+Na2CO3(強(qiáng)制弱)
主要區(qū)別是,性質(zhì)不同、化學(xué)性質(zhì)不同、作用不同,具體如下:一、性質(zhì)不同1、H4SiO4氫氧化硅(Si(OH)4),一般叫做原硅酸或正硅酸(H4SiO4),化學(xué)物質(zhì),二氧化硅(SiO2)的水合物。
2、H2SiO3H2SiO3,指偏硅酸也稱硅酸。
二、化學(xué)性質(zhì)不同
1、H4SiO4正硅酸Si(OH)4,或?qū)懗蒆4SiO4,電離平衡常數(shù)K1=2.2*10-10(30℃)。是一種弱酸,它的鹽在水溶液中有水解作用。硅酸是不溶于水的二元弱酸,可用Na2SiO3溶液和鹽酸反應(yīng)生成硅酸。當(dāng)鹽酸和Na2SiO3溶液起反應(yīng)時(shí)生成白色膠狀沉淀,這種白色膠狀物沉淀叫做原硅酸,通常用H4SiO4來表示它的組成,但原硅酸不穩(wěn)定,在空氣里干燥,失去一部分水后,變成白色粉末,這種物質(zhì)就是偏硅酸。
2、H2SiO3硅酸原稱偏硅酸,是一種二元弱酸,電離平衡常數(shù)K1=2×10-10(室溫)。不溶于鹽酸、硫酸,溶于氫氟酸。溶于氫氧化鉀或氫氧化鈉溶液,生成硅酸鉀K2SiO3或硅酸鈉Na2SiO3和水。熔點(diǎn)為150℃(分解)。加熱到150℃以上時(shí)分解為二氧化硅和水,二氧化硅是硅酸酐。用做氣體和蒸氣的吸收劑、催化劑或做其它催化劑的載體。由于二氧化硅不跟水化合,所以硅酸主要通過硅酸鹽溶液跟強(qiáng)酸反應(yīng)制得
5. 原子層沉積流程圖解
印泥長時(shí)間放置或久未翻攪,就會(huì)出現(xiàn)發(fā)干發(fā)硬。
原子印章的印跡以筆跡清晰、色均油實(shí)、色澤艷麗著稱,如呈現(xiàn)筆跡模糊、字面時(shí)斷時(shí)續(xù)等現(xiàn)象會(huì)令原子印章的印刷作用大打折扣,乃至低于累贅繁瑣的印泥印章。要防止此種情況發(fā)生其實(shí)不難,在日常中令印油堅(jiān)持樸實(shí)的液體狀態(tài)即可。另外,如原子印章的印油呈現(xiàn)大小不一的結(jié)塊或各種各樣的沉積情況,可以將印油棄之不必。
6. 原子層沉積設(shè)備示意圖
半導(dǎo)體tf工藝就是半導(dǎo)體薄膜制備工藝。
薄膜生長是指采用物理或化學(xué)方法使物質(zhì)(原材料)附著于襯底材料表面的過程,根據(jù)工作原理不同,薄膜生長的方法有物理氣相沉積(PVD)、化學(xué)氣相沉積(CVD)和外延三大類
在微米時(shí)代CVD均采用多片式的常壓化學(xué)氣相沉積設(shè)備(APCVD),結(jié)構(gòu)比較簡(jiǎn)單,腔室工作壓力約為1atm。但隨著晶圓尺寸不斷增大、技術(shù)節(jié)點(diǎn)不斷進(jìn)步,CVD設(shè)備也不斷改進(jìn),其技術(shù)先后經(jīng)歷了微米時(shí)代的常壓化學(xué)氣相沉積(APCVD)、亞微米時(shí)代的低壓化學(xué)氣相沉積(LPCVD)、90納米時(shí)代的等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)。
從65nm時(shí)代開始,在半導(dǎo)體制造過程中由于源區(qū)和漏區(qū)采用選擇性SiGe外延工藝,提高了PMOS空穴遷移率;在45nm時(shí)代為了減小器件漏電流,新的高介電材料引入及金屬柵工藝的應(yīng)用,由于膜層厚度非常薄,通常在納米量級(jí)內(nèi),因此不得不引入原子層沉積(ALD)工藝,以滿足對(duì)薄膜沉積的控制和薄膜均勻性的需求。
強(qiáng)推





